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台灣電鏡 開發華人首台工業智能電子顯微鏡
內容目錄
堅持到底的競爭力 深耕工業基礎技術 – 系列文章12 文 / 遠見雜誌整合傳播部企劃製作
台灣電鏡是華人第一家以研發製造桌上型電子顯微鏡為主體的公司,秉持著國家自造尖端儀器的MIT精神,提供領先市場的液態檢測電鏡技術,並以專業、客製、智能的工業微檢測系統,為更多產業帶來新的應用價值。
台灣電鏡的誕生,意味著產業的巨變。就像個人電腦興起終結大型電腦的時代,桌上電腦走入辦公室與家庭,揭開了科技巨變的序幕;台灣電鏡儀器也以體積小巧的電子束檢測儀器,顛覆了過去昂貴的電子顯微鏡市場,將科學精密儀器帶入民間,讓資源有限的中小企業不需要建置昂貴的微奈米檢測實驗室也能獲得精密的檢測成果。
一個不到20人的團隊,聚集了來自學界及半導體產業的頂尖人才,「大家都是帶著使命感而來。」台灣電鏡董事長林俊吉笑著說。
身為臺灣第一家研發製造電子顯微鏡的公司,台灣電鏡的目標是結合臺灣製造優勢,提供從設備到製程改良的整體解決方案,成為產業升級的重要推手。
產官學三方合作,催生首家自製電鏡品牌
電子顯微鏡是許多科學研究及工業製程的重要基礎量測設備,可提供較一般光學顯微鏡更高的放大倍率,獲取更清晰的影像,舉凡半導體產業、材料分析、生物醫學等領域,都必須經由電子顯微鏡來掃瞄、檢測精密零件,以及複雜的製程動態過程,掌握物質的實際狀況與變化。
過去,精密電子顯微鏡技術大多掌握在德、美、日等國際大廠手中。2012年,臺灣終於出現第一台由國人自行研發生產的電子顯微鏡,幕後的推手正是台灣電鏡儀器。
「這可說是產官學三方合作的成果。」林俊吉表示,台灣電鏡的核心技術衍生自清大陳福榮教授所指導的電鏡團隊,在工研院創新育成扶持之下,2017年鏈結了臺灣電子束晶圓檢測設備供應商漢民科技,在半導體設備的開發及服務經驗,投入小型化、成本低及高度客製化的桌上型液態電鏡技術,在發展歷史悠久的電鏡產業中,建立屬於自己的市場優勢
獨家液態檢測技術 獨步領先市場
副總經理黃祖緯是清大原始核心技術團隊的創始原老之一,自2006年就開始投入桌上型電子顯微鏡的開發,台灣電鏡產品的獨家技術「液態電鏡」,便是黃祖緯花了六年時間投入研發的成果。
黃祖緯解釋,傳統電子顯微鏡只能檢測真空狀態的固體材料,但是半導體、能源、生技產業所需觀測的濕性樣本結構,卻會因真空環境而毀損,因此,過去幾十年來廠商的做法幾乎都是採取將溼性財料烘乾,再放進電子顯微鏡觀測;或只能在實驗室用高倍率的光學顯微鏡進行檢測。
台灣電鏡突破過去電子顯微鏡無法觀測含水樣品的限制,而是用獨家研發的特殊薄膜封住濕潤、懸浮或流動性質的液態樣品,無須處於真空狀態,就能以一台儀器,直接檢測塊材、粉體、膠體、流體等多種類型材料的懸浮顆粒、漿料,甚至適用於金屬蝕刻電鍍等會產生化學變化的製程。
這台電子顯微鏡可應用在半導體、電子製程檢測、生技製藥與藥材檢測、能源電池、化工塗料檢測等領域,成為市場競爭的差異化優勢。
從學界跨足商業產品,須突破技術卡關
說起來輕巧,但是背後的難度卻是非常高。
林俊吉分析,要突破的技術有二。首先是電子束系統相當複雜,門檻極高,光是解決真空、調校、光源等問題,就讓團隊吃盡苦頭;由電子束系統延伸下來的液態檢測,則有許多不同於傳統電子顯微鏡等環境問題需要解決,應用層面極廣,也加劇了技術研發的難度。
想要突破這兩個難題,還是要回到學界與產業界的通力合作。當時清大陳福榮教授主持的電鏡實驗室已有超20年的歷史,對於電鏡技術有深入的分析及理論基累,並從儀器改善跨入儀器自製的領域,而液態檢測薄膜的專利正是黃祖緯在博士階段的成果。
儘管已成功開發出可檢測液態樣品的桌上型電子顯微鏡,但是想要將技術商品化,還是要回到產業的應用層面。「我們在學校做的是技術原型,最終回歸到應用層面,還是需要借助業界經驗來幫忙精準定義問題。」黃祖緯有感而發地說。
黃祖緯表示:「有些客戶的問題是要處理極度高溫;有些是處理腐蝕性材料;甚至是處理揮發帶有毒性的物質;我們可能做一次實驗,就會毀損要換一台機器。」
隨著應用層面不同,團隊必須一次又一次地投入除錯過程,即使投入大量人力及時間,最終還是很難將每一台電子顯微鏡維持在穩定良好的品質。
尤其台灣電鏡成立之初,主要提供學界研究所需的產品,一旦準備面臨商業市場,技術複雜程度便提高不少。
林俊吉回憶,當時接到第一個來自業界的商業訂單,原本預計4〜6個月就可交貨,但是研發團隊都是學界出身,對於產品商業化並不熟悉,組裝時出現許多不知道如何解決的問題,交期只能一直往後延宕,對於公司信譽及口碑影響極大。
為了改善此狀況,林俊吉透過人脈找到前漢微科廠長、現任台灣電鏡總經理鄭新基擔任義務技術指導,希望借重其精密電子顯微鏡應用的豐富經驗,協助團隊解決問題。
「學界只想要把東西做好,但是沒有想到HVM(大量生產)的問題。」鄭新基表示,當時最大問題在於每次調整組裝的參數,無法維持穩定,只要其中一個環境變數改變,就有高達幾百個細微之處要隨之調整,生產線的步調也大受影響。
鄭新基進一步表示:「但學界的優點就在於理論札實,也願意調整,只要提供建議,就可以很快嘗試執行。」學界與業界最終激盪出漂亮的火花,日後碰到相同的訂單,現在只需要一個半月就可完美交貨,這意味著台灣電鏡成功將技術商業化,做出符合市場需求,且品質穩定的產品。
結合臺灣製造優勢,創造全新市場
台灣電鏡的產品除了擁有小型化、成本低及獨家液態檢測技術的亮點,另一個優勢在於深入了解各產業需求,提供專業客製化、智能化軟硬體應用與調整,讓一台兩百萬的檢測設備,最終能夠創造出五百萬的產值。
林俊吉表示,電子顯微鏡產品歷史悠久,台灣電鏡做為市場後進者,很難直接與線上大廠競爭。「想要避免規格戰及削價競爭的壓力,就要從臺灣製造優勢出發,創造出全新市場。」林俊吉說。
台灣電鏡以新竹科學園區為根據地,方圓二百公里內都是潛在客戶,不同於其他國際大廠只是賣設備給客戶,挾著地緣、人才及技術優勢就近服務,台灣電鏡進一步成為客戶的「眼睛」,協助找出隱藏的生產環節問題,提供最佳整合性的解決方案。
此外,林俊吉曾是臺灣半導體產業第一個十二吋晶圓廠首任廠長,亦是采鈺科技與精材科技執行長,自台積電集團退休之後,仍與半導體產業維持緊密聯繫,無形中也替台灣電鏡帶來接觸潛在客戶的機會。
例如,半導體設備暨關鍵元件愈來愈精密,製造過程中很容易因為細微影響而出現問題,「過去就像瞎子摸象,一毀損就換新,但根本不知道問題出在哪裡。」林俊吉驕傲地說,「從前台積電同事找上我,希望幫他們解決製程問題,我們立刻將機台拆卸後進行檢測,結果不到一天就找出問題。」
台灣電鏡的客製智能化檢測服務,不只幫助客戶精準定義問題,更重要的是提升生產效能及產品良率。以七奈米晶片為例,假設一小時產能是一百片,一片晶片的價值是一萬美金,只要能夠節省一小時的除錯時間,就可為客戶省下一百萬美金的損失,「這就是我們能夠打入台積電供應鏈的原因。」林俊吉笑著說。
除了半導體產業之外,台灣電鏡也積極開發汽車、封裝、能源電池及其他需要精密檢測的產業。「尤其是中小企業,過去大多採用光學檢測,很多問題沒辦法精準觀測出來。」林俊吉認為,隨著中美貿易戰持續,許多臺灣廠商開始回流臺灣,想要維持競爭力,只有走向產業升級,林俊吉有信心地說:「而台灣電鏡,將是協助他們提升生產效能及產品品質,最堅實強大的後盾。」
頂尖的產學界人才齊心合力,結合台灣製造優勢,台灣電鏡將持續以獨家液態電子顯微鏡,穩占便利、成本低及客製化軟硬體加值服務三大立基,推動台灣產業迎向更寬闊輝煌的未來。
temic – 突破傳統電子顯微鏡 展現臺灣製造硬實力
創新創業激勵計畫
由國立清華大學陳福榮教授指導的清大電鏡團隊針對傳統的電子顯微鏡進行改良,不同於過去體積大及無法觀察液態樣品之限制;最新推出的桌上型電子顯微鏡EM200S不但把機器小型化,更結合可檢測液態樣品之技術,提供更有效的解決方案。
走出實驗室 FITI促使成立公司
從實驗室組成清大電鏡團隊,至成立台灣電鏡儀器股份有限公司,總經理黃祖緯表示很幸運;只因當初陳福榮教授在國科會(現科技部)執行計劃時,認為桌上型電子顯微鏡是可商品化的題目,並希望能發揮臺灣製造儀器的優秀技術,因此指導團隊朝這方向發展。此外,黃亦透露在一個特別的場合,獲當時的工研院院長/副院長賞識,並認為這樣的產品不只富有學術價值,而是應有機會育成為工業化的產品,更幸運地於團隊時期便獲得工研院的支持與合作。
黃直言成立公司一事對他來說十分深刻,因2013年3至4月時,團隊對於是否真要成立公司猶豫不決,適逢當時參加創新創業激勵計畫(FITI),為期半年的FITI計畫正好讓團隊能慎重地思考是否真的適合成立公司,且團隊的核心成員在參加FITI的兩次營隊(宏圖營及實踐營)後,都認為其創業主題能夠商業化,儘管並不清楚未來會遇上甚麼困難,卻在FITI培訓結束後便確定要成立公司。
技術為主 創新為輔
黃祖緯分享當時參加FITI不但能看到其他團隊的創業構想,且很多團隊的產品發想也十分特別及創新,反倒是他們的主題比較偏重技術為基底,加上屬於架構轉變不容易的科學工業領域,儘管有創新的部分,卻不若同梯的其他團隊。「技術佔80%,20%才是創新的部分。」黃直言產品創新的部分主要為改變電子顯微鏡的體積及能夠觀察液態樣品,並透露這兩種技術在最初是分屬由陳教授所指導的兩個團隊,而他當時是在致力開發可觀察液態樣品的團隊,及後與專注改良電子顯微鏡體積之團隊結合,一起開發可檢測液態樣品的桌上型電子顯微鏡。
提及參與FITI培訓時的創業構想,黃祖緯坦言目前的成品符合當時最想呈現的樣子,並表示他們是參與FITI第一屆的團隊之一,認為與當時的執行團隊有一起成長之感;也很高興最終順利拿下創業傑出獎及200萬的獎勵金,讓團隊在創業初期資金不多的情況下,也能最小成本下製作原型或嘗試導入資訊系統等。
FITI鏈結資源多 協力夥伴幫助大
黃認為FITI提供的資源很多,不但創造出一個很好的環境予創業團隊讓其虛擬的創業概念變成原型,更能藉由培訓想像他們的商業發展方式,並表示從FITI畢業後所走的方向與培訓時所想像之方向差異不大。
「我們應該是最常使用FITI法務服務及專利部分的團隊。」他笑言業界一般成立公司並發展到一定規模後,都會需要這些服務,但費用亦十分可觀。不過參加FITI培訓時,卻能獲得法務及專利的免費諮詢,且協力夥伴新竹科學工業園區也會提供相關的專業服務及創業空間,對團隊的幫助很大。
募資不應單純只為資金
在募資方面,黃祖緯透露最初獲操盤工研院投資案的創新公司(ITIC)以策略投資人的角色協助新創萌芽,讓公司的股東架構偏法人體系,財務體質完善透明,好處是能讓後續加入的投資人更順利。儘管公司有業界領導性的人作為股東之一,在資金籌措方面相對有方向,不過黃亦表示他們也曾經歷尋找投資人及募資的過程。
他分享在尋找資金時,不應只為尋找錢,而是要以尋找合夥人的心態去進行。只單純想成要尋找資金,很容易會變成路演走向的在競爭哪個創業團隊的構想更優秀、哪個團隊的目標市場更有機會成功;若是轉變為尋找合作夥伴,進一步深度思考如何說服這個投資人以自身資源與影響力,與原有技術團隊發揮加乘效果,則會更容易成功。不過黃亦強調,使用投資人提供的資金要負責,因此資金運用要很謹慎及很關鍵。他認為公司在不同時期所能承受的資本額是有差異性,特別有些資金在使用後並不會很快發揮效果,所以要配合階段進行適當的運用。
廣結善緣 獲客戶推薦是重要指標
黃祖緯認為團隊在創業的過程中,有得到非常多的幫助,也歡迎各種的可能,更認為廣結善緣很重要。他分享在創業時,除了技術性、創新性等問題,亦因為特殊的經營問題向他人請教,這些人在後來的公司事業成長歷程中亦扮演了很重要的角色。「去創造鏈結,虛心學習很重要。」他笑言自己需要學習的地方遠比能教授別人的多,不過在遭遇壓力或困難時,也會保持正向思考,盡力解決難題。
此外,黃表示公司的產品與服務獲客戶的肯定及推薦,是重要的指標。並認為不論是廠房搬遷、新成員的加入或產品的規格提升,決策考量與最終目的也是回歸為客戶對他們產品的認同;特別客戶持續購買及信賴他們所提供的後續服務,這不但是肯定與認可,也代表他們是真的在這個儀器產業之中努力。黃祖緯表示,只要努力、擁有信念及使用所有能接觸的資源,定必可實現所想。
台灣電鏡儀器股份有限公司官網: http://taiwanem.com/
FITI官網:https://fiti.stpi.narl.org.tw/
FITI粉專:https://www.facebook.com/FromIPtoIPO.2013/
台灣電鏡攻顯微鏡 液態技術 練出火眼金睛
為了替台灣尋找經濟新動能,經濟日報推出「創業超新星」系列專題報導,本系列介紹台灣最具創新能力的新秀,報導這些新創公司的優勢及潛力,讓其價值被外界看見,獲得更多資源挹注,成為未來台灣經濟發展的中流砥柱。
台灣電鏡儀器(temic)公司是衍生自國立清華大學陳福榮教授指導的電鏡團隊,2013年勇奪科技部(原國科會)的「創新創業激勵計畫(FITI)」優勝,獲得200萬元的創業基金,從此開啟了台灣電鏡專注於發展桌上型液態電子顯微鏡產品及服務的創業之路。
台灣電鏡儀器2017年進駐竹科矽導研發中心,推出新一代桌上型電子顯微鏡EM200S。這款新產品突破過去電子顯微鏡無法觀察含水樣品的限制,同時搭載掃描式與穿透式的桌上型電子顯微鏡,能對精密零件掃描或複雜的化學製程動態過程進行檢測,大為降低建置奈微米分析設備成本,提供更創新有效的解決方案。
台灣電鏡董事長林俊吉表示,台灣電鏡延伸清華大學電鏡團隊的核心技術,並在工研院創新育成的加持下,鏈結漢民科技在半導體設備的開發管理與服務經驗,將在核心規格與創新功能上不斷努力研發,並以「液態檢測電鏡領航專家」自詡,訂定目標為全球產業提供「40奈米以下液體粒子檢出」與「濕式製程監控」的優勢技術,並供應最具性價比的小型電子束檢測設備。
電子顯微鏡是許多科學研究和工業製程的重要基礎設備,可提供較一般光學顯微鏡更高的放大倍率,獲取更清晰的影像,掌握物質的實際狀況與變化。然而,電子顯微鏡技術長期為國外大廠所把持,台灣電鏡儀器在掌握小型化及液態電子束等技術後,逐步建立產品特色。
林俊吉表示,台灣電鏡儀器結合產、政、學、研的能量,進駐竹科以就近服務科技業,協助產業解決問題和提高品質管理為定位,要創造獨特的利基市場。
2013年,台灣電鏡儀器以新創公司之姿進駐工研院育成中心,除了與工研院展開技術合作之外,更獲得工研院創新公司的初始投資。雙方更以共同合作開發的「流體螢光共顯微電子顯微鏡」技術,一舉獲得第12屆國家新創獎。
台灣電鏡儀器創辦人、清華大學講座教授陳福榮表示,台灣電鏡儀器產品不論在規格或影像品質上,都已接近市場領先者。未來除繼續提升技術外,還要在市場業務與行銷推廣上著力。
桌上型液態電鏡技術的特色,是小型化、成本低,以業界需求為主要出發點,成為市場競爭一大優勢。台灣電鏡最新推出的桌上型電子顯微鏡「EM200S」,是針對工業使用的桌上型電子顯微鏡,同時具備掃描與穿透功能,除了能夠檢測元素的組成,還能運用軟體進行定量分析。最特別的地方在於能觀察檢測液態的樣品與特徵,包括運用電子光學設計與非真空技術,樣品不需處於真空狀態,直接觀測維持在濕潤、懸浮或流動性質的液相物料,而且只需這一台電鏡儀器就能檢測塊材、粉體、膠體、流體等多樣類型的樣品。
台灣電鏡總經理黃祖緯指出,以往液態電子顯微鏡應用多以學界研究為主,主要限於大型穿透電子顯微鏡,與所搭載的電子顯微鏡系統整合度較低。台灣電鏡儀器自主開發的液態電鏡技術,能夠小型化、大幅降低成本;輔以業界需求設計整合軟體的檢測方案,成為市場競爭的一大優勢。已為客戶提供液態顯微電鏡產品及客製性分析服
台灣電鏡搶進台積電供應鏈 獲漢民入股
電子顯微鏡廠台灣電鏡進駐新竹科學工業園區,不僅成功打進晶圓代工龍頭廠台積電供應鏈,並獲前台股股后漢微科大股東漢民科技旗下的漢民投資青睞入股。
台灣電鏡今天舉辦竹科辦公室開幕典禮,由董事長林俊吉主持,包括新竹科學工業園區管理局長王永壯、工業技術研究院協理段家瑞與漢民科技總經理許金榮等人到場致意。
林俊吉表示,台灣電鏡是由清華大學、工研院與漢民科技合作,結合產、學、研界所成立,期望未來能在全球電鏡儀器占一席之地。
他並透露,台灣電鏡產品已獲台積電採用,應用於特殊研發管理方面。
許金榮表示,台灣電鏡雖然產品應用與漢微科不同,不能互相比較,不過,台灣電鏡有成功的機會,成長空間大。
許金榮指出,台灣電鏡不僅是台灣設備業的好典範,,同時豎立台灣創新風氣與產學研合作模式的好典範,包括串聯學界、半導體業與創投業。
台灣電鏡Nereuscope獲國家新創獎
第12屆國家新創獎得主中,唯一一家儀器設備開發商─台灣電鏡儀器(TEMIC),同時也是台灣第一家100%自有電子顯微鏡研發製造技術的公司,是以全球唯一能結合「流體」以及「螢光」技術的掃描電子顯微鏡─Nereuscope,獲得評審肯定。
總經理黃祖緯表示,台灣電鏡儀器與工研院量測中心合作開發的「Nereuscope流體螢光共顯微電子顯微鏡」(Nereus取自希臘神話「海神」之意),突破過去無法觀察含水樣品的限制,可在電子顯微鏡中模擬培養細胞的環境,0960-550-797 <—-手機點我即可撥號陳先生,並即時穩定地控制液體的流速、濃度與溫度,更可附加生醫檢測常用的螢光顯微功能,從此打破電子束檢測與光學檢測之間的藩籬。
Nereuscope流體螢光共顯微電子顯微鏡」目標提供生醫材產業40nm以下的液相解析能力。除台灣與大陸外,即將布局北美與日本市場。
台灣電鏡團隊的前身,是曾獲得科技部創新創業激勵計畫優勝的清華大學電子顯微鏡團隊。創辦人工程與系統科學系陳福榮教授指出,自2008年啟動電子顯微鏡自研發的契機,就是不樂見歐美日長期把持尖端儀器輸出,台灣唯有掌握科學儀器研發製造才能加速自身科技的發展。
技術亮點/彩色電子顯微鏡 台廠商機大
人類對於微小的世界,向來好奇,顯微鏡為人們打開新的視野。發展至今,可觀察奈米等級細微影像的電子顯微鏡,已成為生物科技研究的必要工具。因應市場需求,以及在創新創業的風潮下,國內第一家電子顯微儀器公司「台灣電鏡儀器」於2013年成立,這家結合清大研發團隊及工研院技術支持的公司,可望在兩到三年內超越韓國,躋身全球少數具備供應桌上型電子顯微鏡與臨場(in-situ)觀察能力的廠商。
「台灣電鏡儀器」創辦人為清華大學陳福榮教授,有鑑於傳統電子顯微鏡體積龐大、售價過高,他苦思如何讓彷彿一台車的大機器,能縮小到桌上型,像電腦主機一樣,易於操作及供研發之用。在他創意與技術支援下,台灣電鏡儀器就此誕生,主要成員為清大等校院研究人員所構成的團隊,經與工研院合作後,掌握許多關鍵技術及資金的投入,甫上市就吸引不少廠商開始試用。
自2008年起,在這長達六年多的研發過程中,台灣電鏡儀器的原始核心技術團隊陸續獲得奈米國家科技計畫、創新創業激勵計畫,與工研院創新工業技術移轉股份有限公司的支持,終於在2013年邁入商業化階段,成為台灣第一家投入電子顯微鏡研發的公司。陳福榮強調,得到工研院創業育成中心與技術支援,都是該公司發展快速的重要關鍵。
在穿戴式裝置風潮的帶動下,高科技產品愈來愈走向輕、薄、短、小。台灣電鏡儀器總經理黃祖緯指出,該公司在開發整合光學功能的電子顯微鏡的過程中,所面臨的最大困難,就是如何將原本體積可能巨大如一台小轎車的顯微鏡機臺,縮小成如同電腦主機一般大小。
在產品開發的過程中,工研院量測中心的研發團隊提供了關鍵的協助。因市面上買不到台灣電鏡公司需要的機構零件,0960-550-797 <—-手機點我即可撥號陳先生,所以工研院特別為該公司研發客製化的光學與微流體設備元件,並成功將這些元件微小化。這些微小化的元件,讓該公司開發出功能連高階等級電鏡也罕見的新穎功能,但價格卻比同級產品實惠許多的「流體螢光共顯微電子顯微鏡: Nereuscope」,非常具有市場競爭力。
台灣電鏡儀器總經理黃祖緯指出,傳統電子顯微鏡雖一直是奈米量測的利器,但缺點是只能提供黑白(灰階)的影像,以及只能觀測乾燥後的樣品,而光學顯微鏡雖可提供彩色影像,但解析度較低。如今新開發出來的「流體螢光共顯微電子顯微鏡」,展現光學與電子顯微鏡共成像(Correlative Light Electron Microscope, CLEM)的先進功能,能提供高解析的彩色影像;並因內含精密的溫度與微流量控制系統,便可觀察潮溼甚至是活體樣本,突破傳統電子顯微鏡的最大限制。另一方面,工研院創業育成的資源不僅提供空間、人力及軟硬體設施,還引進創業投資基金、大學院校及政府部門企業輔導體系等資源,是一個具有商務服務、管理訓練、資金挹注、技術支援等多項功能的整體服務。尤其工研院可提供跨產業的技術交流,對有志投入創業的新創公司或團隊,堪稱是最佳的創業地點。陳福榮強調,透過精密科學儀器的輕量化,能更有效掌控產品的成本與應用,為產業鏈帶來更多刺激與革新。桌上型掃描電子顯微鏡是展現臺灣精密製造實力的第一步,未來更將整合產學界的技術能量,也期許「台灣電鏡儀器」未來能成為國際知名的科學儀器品牌。
MIT電子顯微鏡大突破 台灣電鏡搶攻化工醫材市場
由科技部創新創業激勵計劃優勝團隊的台灣電鏡儀器,今日在矽導研發中心盛大開幕,並正式推出新一代的桌上型電子顯微鏡EM200S,除了突破過去電子顯微鏡無法觀察含水樣品的限制,並領先同時搭載掃描式與穿透式的桌上型電子顯微鏡,能對於精密零件掃描或複雜的化學製程動態過程進行檢測,並大為降低建置奈微米分析設備成本,為產業提供全新的解決方案。
台灣電鏡董事長林俊吉表示,台灣電鏡延伸清華大學電鏡團隊的核心技術,並在工研院創新育成的加持下,鍊結漢民科技在半導體設備的開發管理與服務經驗,將在核心規格與創新功能上不斷努力研發,並以液態檢測電鏡領航專家自詡,訂定目標為全球產業提供40奈米以下液體粒子檢出與濕式製程監控的優勢技術,並提供最具性價比的小型電子束檢測設備。
工研院協理段家瑞表示,工研院積極推動以科技創新創業來協助產業轉型優化,四年前看到充滿潛力的清大電鏡團隊,看準傳統電子顯微鏡有體積龐大、售價高的缺點,希望能運用自身的關鍵技術勇敢逐夢,投入桌上型電子顯微鏡的產業市場。
工研院樂見這樣潛力的創新,將自有的「流體輸送控制」與「光學顯微」技術與其結合以增加其對液態電子束分析上的能量,新創出能在液態下連續檢測以及結合螢光共顯微的嶄新功能。
此外,透過工研院創新工業技術移轉股份有限公司(ITIC)的挹注,促使這些關鍵技術與潛力的創新能夠真正商品化,完成創業的最後一哩路。
本次新發表的EM200S是第一台搭載掃描式與掃描穿透式雙影像偵測器(SEM/STEM)的桌上型電子顯微鏡,結合特殊的直接液態檢測技術(採用對電子束
透明的特殊薄膜,將液體或揮發性軟物質保存於真空中),可同時滿足微米結構掃描量測與奈米粒子穿透分析,一台設備可檢測從塊材、粉體、膠體乃致流體的廣泛樣品類型,體積卻是傳統電子顯微鏡的五分之一,並深具價格優勢。
在半導體與電子製程檢測、生技製藥與醫材檢測與化工塗料檢測上皆有廣泛的應用。
最新開發的DirectLiquid直接液態檢測裝置,具備可調整液體下景深距離的功能,是第一個可實現微奈米金屬蝕刻即時觀測的產品,搭配自主開發的分析軟體,對於面板/電子業的金屬線寬蝕刻或電鍍等精密製程是非常有價值的解決方案。(吳秀樺/台北報導)
國內首間-電子顯微鏡自己設計製造
以電子束檢測技術為核心,持續開發桌上型掃 描電子顯微鏡,以及電子/光子偵測器、液體樣品套件等相關產品。
專業能力涵蓋機構 設計、真空技術、電子光學模擬、電子儀控、微機電元件以及跨系統軟韌體整合。
精密科學儀器的輕量化
「台灣電鏡」提供的產品相較於傳統落地型掃描電子顯微鏡,體積小(一張桌面可安置)、架構簡單、易維護低廠務需要(無須冷卻水)且極具價格優勢(僅傳統的15%~20%);與競爭對手相比,電子槍規格更高,除了同樣可搭載成份分析套件(EDS)外,將創新整合同步光學檢測與獨創的液體樣品觀察功能。
未來,更輕巧更人性化操作的『穿戴式電子』與 『便攜式儀器』,勢必如火如荼的改變我們的生活方式與工作內容。
台灣電鏡儀器所追求的,即是透過精密科學儀器的輕量化,在成本控制與應用自由度上,帶給產業鏈實質的價值革新;將主打「低成本即可獲得超越光學顯微鏡的高放大倍率」之市場定位,將產品穿透至過去鮮少使用電子束檢測的加工製造業。
桌上型掃描電子顯微鏡,是我們連結台灣精密製造實力的第一步,陸續整合來自產學界的技術能量,深切期許台灣電鏡儀器(Taiwan Electron Microscope Instrument Corporation, TEMIC)未來能成為來自台灣的國際科學儀器品牌。
台灣電鏡進竹科 3年贏韓國
工研院輔助的台灣電鏡儀器,經過4年研發後正式進入商業化,5日進駐竹科矽導研發中心,並推出新一代桌上型電子顯微鏡EM200S搶攻市場。創辦人陳福榮說,台灣電鏡進入市場雖較晚,但研發團隊掌握關鍵技術,可望2、3年內超越韓國。
首度獲新創獎廠商
台灣電鏡開幕典禮賀客雲集,竹科管理局長王永壯、台灣工研群英基金會董事長蔡清彥等貴賓,致詞肯定台灣電鏡是創新創業第1名獲國家新創獎廠商,產品可協助半導體製程提供全新解決方案,是台灣之光。
台灣電鏡董事長林俊吉表示,桌上型電子顯微鏡是以創新電子束檢測,可提供40奈米以下液體檢出及溼式製程監控,搶攻半導體製程與醫材分析市場。
優化精密製程分析力
台灣電鏡創辦人陳福榮說,傳統電子顯微鏡體積大,價格動輒數千萬到上億元,2013年帶領團隊投入桌上型電子顯微鏡研發,目標要讓電子顯微鏡的應用普及化。陳福榮說,在採用最新的相差修正技術,讓產品體積大幅縮小,商品結構朝簡單設計,像新一代桌上型電子顯微鏡EM200S,售價僅200多萬元,非常適合應用在先進材料分析及精密加工儀器檢測等領域。
掌握關鍵技術錢景佳
陳福榮指出,桌上型電子顯微鏡擁有價格低廉,便於使用的特性,目前僅有歐洲和日本少數廠商有製造能力,大陸和新加坡研發都以失敗收場,韓國跨入時間很早,但商品缺乏市場競爭力,目前只能仰賴政府資金勉強支撐。
陳福榮很有信心說,儘管台灣電鏡進入市場的時間較晚,但研發團隊對關鍵技術掌握能力非常好,已吸引不少廠商試用,他預計2、3年內可超越韓國,成為全球少數具備供應桌上型電子顯微鏡能力的廠商。
公司簡介
台灣電鏡儀器(temic),是華人第一家以桌上型電子顯微鏡為產品主體的研發製造公司,九成以上零組件在台灣製造。現進駐於工研院光復院區,為兩岸產學研各界提供多功能易使用的電子顯微鏡產品以及創新的液體樣品奈米檢測方案。
前身為國立清華大學的電子顯微鏡研究團隊,自2008年起歷經漫長的原型發展,終於取得產品化的契機,在工研院的支持下以公司的形式正式成立於2013年7月,並獲得科技部創新創業激勵計畫(FITI)競賽優勝、科技部「奈米科技傑出新創公司獎」與新竹管理局「竹科之星」獎項。
清華大學團隊的核心技術,透過台灣電鏡儀器實現商品化,並在工研院挹注下進行價值創造,要共同完成跨領域的整合創新,持續以台灣自製精密儀器的信念向前邁進。
公司基本資料
統一編號 | 54503893 |
公司狀況 | 核准設立 |
股權狀況 | 僑外資 |
公司名稱 | 台灣電鏡儀器股份有限公司 (出進口廠商英文名稱:TAIWAN ELECTRON MICROSCOPE INSTRUMENT CORPORATION) |
章程所訂外文公司名稱 | Taiwan Electron Microscope Instrument Corporation |
資本總額(元) | 180,000,000 |
實收資本額(元) | 160,000,000 |
每股金額(元) | 10 |
已發行股份總數(股) | 16,000,000 |
代表人姓名 | 林俊吉 |
公司所在地 | 新竹科學園區新竹市展業二路22號3樓 |
登記機關 | 科技部新竹科學園區管理局 |
核准設立日期 | 102年07月05日 |
最後核准變更日期 | 110年05月07日 |
複數表決權特別股 | 無 |
對於特定事項具否決權特別股 | 無 |
特別股股東被選為董事、監察人之禁止或限制或當選一定名額之權利 無 | |
所營事業資料 | CE01010 一般儀器製造業 CE01030 光學儀器製造業 CE01990 其他光學及精密器械製造業 I103060 管理顧問業 I199990 其他顧問服務業 I501010 產品設計業 研究、設計、開發、製造及銷售下列產品: 桌上型掃描電子顯微鏡與液態檢測模組 (Desktop Scanning Electron Microscope & Liquid-Phase Inspection Modules) |
董監事持股
序號 | 職稱 | 姓名 | 所代表法人 | 持有股份數(股) |
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0001 | 董事長 | 林俊吉 | 集吉投資有限公司 | 2,352,490 |
0002 | 董事 | 張原禎 | 創新工業技術移轉股份有限公司 | 1,313,400 |
0003 | 董事 | 陳俊煌 | 漢信投資股份有限公司 | 2,500,100 |
0004 | 董事 | 陳艮彥 | 漢信股份有限公司 | 2,400,000 |
0005 | 董事 | 楊博斐 | 鈺琥投資有限公司 | 2,402,700 |
0006 | 監察人 | 沈孝廉 | 0 | |
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